Fotorezistički sustav premaza za poluvodiču litografiju

U usporedbi s tradicionalnim okretnim premazom, fotoresističke prevlake koristeći ultrazvučno prskanje imaju prednosti u polaganju više ujednačenih premaza, posebno duž vrha bočnih zidova visokih utornih struktura i udruženih struktura. Centrifugalna rotacija ne može položiti jednolike premaze duž bočnih zidova i neće položiti previše fotorezista na dnu šupljine.

Ultrazvučno prskanje je jednostavan, ekonomičan i reproduktivan proces za fotorezističko premazivanje u preradi fotolitografije. Funsonic je ultrazvučni sistem prevlaka atomizacije koristi naprednu tehnologiju slojeva za fino upravljanje protokom, brzinom premaza i iznosu odlaganja. Law brzina za raspršivanje definira atomizirani sprej kao precizan i kontrolirani uzorak kako bi se izbjeglo preplate i proizvesti vrlo tanke i ujednačene slojeve. Izravno prskanje korištenjem ultrazvučne tehnologije pokazalo se pouzdanom i efikasnom metodom za deponovanje fotoresista na 3D mikrostrukture, na taj način smanjujući kvarove opreme uzrokovane pretjeranim izlaganjem metala u etchants.

Prednosti ultrazvučnih mlaznica u postupku fotorezističkog premaza:

1. Uniform filmske pokrivenosti različitih površinskih kontura.
2. Sposoban za oblikovanje utora za visoke aspekte sa odličnom ujednačenom.
3. Ne začepljenje atomizirajućeg spreja.
4. Sposoban je odlagati visoko jednolične tanke line mikrona.
. Ponovni zreli proces prskanja.