Poliimid i fotoresistički ultrazvučni sistem prskanja
Dokazani su ultrazvučni sustavi prskanja koji su pogodni za različite aplikacije koje zahtijevaju ujednačene i ponavljajuće fotoresističke ili poliimidne filmske prevlake. Kontrolom debljine od podružnica na preko 100 mikrona i moći oblikovati bilo koji oblik ili veličinu, sustavi premaza su održiva alternativa drugim tehnikama premaza, poput rotacijskog i tradicionalnog prskanja.
Uobičajene primjene poliimida i fotoresističkih premaza uključuju, ali nisu ograničene na MEMS, sočive, mikrofluidičke uređaje, mikroelektronika i filtere. Sustavi premaza mogu prevlačiti ravne i 3D suphrane, obično uključujući silikonske čipove, staklo, keramiku i metale.
Ultrazvučno prskanje je jednostavan, ekonomičan i reproduktivan proces za fotoresist i poliimidni premaz. Ultrazvučni sustav premaza može precizno kontrolirati brzinu protoka, brzinu premaza i iznos odlaganja koristeći jednostavne tehnike sloja. Law brzina za raspršivanje definira atomizirani sprej kao precizan i kontrolirani uzorak kako bi se izbjeglo preplate i proizvesti vrlo tanke i ujednačene slojeve.
Prednosti ultrazvučnog poliimida i fotoresističkog premaza:
1. Uniform filmske pokrivenosti različitih površinskih kontura.
2. Visoka fleksibilnost u kemijskim i premaz svojstvima.
3. Ne začepljenje atomizirajućeg spreja.
4. Visoka efikasnost prenosa sa minimalnim otpadom.
5. Visoko reproducibilni zreli proces prskanja.
Ultrazvučni sustav prskanja koristi vibraciju visokofrekventne zvučne vibracije za generiranje meke magle sastavljene od matematički definiranih kapljica. Blokada se eliminira jer se ne koristi pritisak za generiranje spreja, a kapljice imaju vrlo usku veličinu raspodjele kapljice, što dodatno doprinosi ujednačenosti sloja zalaganja.
