Ultrazvučno prskanje je jednostavan, ekonomičan i reproduktivan proces za fotoresističke i poliimidne premaze. Ultrazvučni sustav premaza može koristiti jednostavne tehnike slojeva za fino upravljanje brzinom protoka, brzinu premaza i iznosu odlaganja.
Ultrazvučna tehnologija prskanja koristi se za poluvodičke fotoresističke premaze. U usporedbi s tradicionalnim procesima prekrivanja i impregnacijskog premaza, ima prednosti visoke ujednačenosti, dobre mikrostrukturne mikrostrukture i kontroliranog prevlake. U proteklom desetljeću primjena trodimenzionalnog mikrostrukture fotoresističkog premaza u potpunosti je pokazana. Proces pripreme fotoresističkih premaza po ultrazvučnim raspršivanjem atomizacije značajno je superiorniji od tradicionalnih predelih premaza u pogledu mikrostrukturne ambalaže i ujednačenosti.
Ultrazvučni sustav prskanja može precizno kontrolirati brzinu protoka, brzinu premaza i zapremine rješavanja. Mali brzinu za raspršivanje definira sprej kao precizan i kontrolirani uzorak kako bi se izbjegao pretjerani sprej za proizvodnju vrlo tankog i ujednačenih slojeva. Ovaj ultrazvučni sistem prskanja može kontrolirati debljinu od sub mikrona na preko 100 mikrona i može pokriti bilo koji oblik ili veličinu.
Karakteristike ultrazvučne tehnologije prevlačenja za fotoresist:
◆ Uniform filmske pokrivenosti različitih površinskih kontura
◆ Ne kontaktna prskalica
◆ Micro protok zraka, višestruke sheme za hranjenje tečnosti
◆ Točnost velike brzine kontrole
◆ Brza brzina iskorištavanja tečnosti
◆ Velika fleksibilnost u hemijskom i premazom performansi
◆ Visoka efikasnost prenosa i minimalni otpad
◆ Ponovno zreli proces prskanja