Ultrazvučna oprema za pirolizu prskanja i sistem za oblaganje TCO
Jedinstveni tanki filmski limenki limenki (ITO), aluminijski dopid cinkovog oksida (AZO), cink oksid (ZNo) i fluorinski slojevi oksida obično se proizvodi ultrazvučnom tehnologijom pirolize za prskanje. Ovaj jedinstveni proces zahtijeva specijalizirana oprema za oblaganje za stvaranje potrebne debljine i oblika premaza i za prskanje korozivnih rješenja u visokoj temperaturnim okruženjima.
Tijekom visokotemperaturne ultrazvučne pirolize, rješenje za prekursor (poput aluminijskog cink oksida) prska se na supstrat zagrijanu na oko 300-500 stepen. Solvent isparava tokom transporta, a ZNNO kristalni film raste na površini supstrata, obično natrijum kalcijum ili drugim staklom. Temperatura supstrata obično određuje morfološke karakteristike filma.
Ultrazvučno spremanje mokrog taloženja osigurava proizvođačima s isplativim alternativom vakuumskom talogu i pljuvenju, s višom efikasnošću prijenosa. Veličina kapljice koju generira ultrazvučna atomizirajuća mlaznica je vrlo ujednačena, što može postići optimalnu veličinu kapljica za reakciju pirolize, a sve će kapljice reagirati istovremeno na isti način tokom postupka taloženja. Da li je to istraživanje i razvoj ili masovna proizvodnja, to će donijeti efikasne proizvodne procese TCO-a.
Upotreba funsonske ultrazvučne mlaznice prevladava procesni izazov za prskanje visoko korozivnih kiselina. Mlaznica je izrađena od konstrukcijskih materijala otpornog na koroziju i ima svojstva bez blokade, ponovljivosti i duge života. Čak se može u prskanje vrlo korozivne hidrolorične kiseline ili hidrofluorske kiseline rješenja.
Prednosti ultrazvučnog sistema pirolize za prskanje za TCO premaz:
1. U usporedbi sa procesom CVD (taloženje hemijskog pare), ultrazvučna piroliza spreja je jednostavna, fleksibilna i isplativ.
2. Dokazana stručnost za oblaganje TCO-a.
U usporedbi s ostalim metodama prskanja, ultrazvučne mlaznice mogu položiti više ujednačenih slojeva.
4. Jednostavan za podešavanje i ponovljene parametre premaza.
5. Potpuno integrirana patentirana tehnologija ultrazvučne mlaznice i tekućinu, pružajući kompletnu otopinu premaza.
ALTERNATIVNA PIROLIZA SPROLIZAMA (250 stepeni i dolje) procesi se neprestano pojavljuju, a više istraživanja i razvoja izvršeno je hemikalijama koje nisu potrebne ciljne podloge visoke temperature.
