Ultrazvučni sistem prskanja atomizacije koristi se za integraciju u vakuumsku komoru. Kroz eksperimente je dokazano da se jedinstveni ultrazvučni dizajn raspršivanja atomizacije može integrirati u vakuumsku brtvenu platformu, pogodnu za aplikacije kao što su polimerna taložna pare (PVD) i metalno organsko depoziti za hemikalije (MOCVD). Karakteristična atomizacija male brzine koju generira ultrazvučni sustav raspršivanja atomizacije može proizvesti oblak pare sa uskim distribucijom kapljice i frekvencijsko kontroliranim veličinom kapljice. Zbog činjenice da ultrazvučni atomizirajući mlaznice rade pretvarajući visokofrekventne zvučne valove u mehaničke vibracije, tečnost u dodiru sa površinom mlaznice ne dodaje se bez dodavanja zraka ili plina, tako da integritet vakuumske komore nije oslabljen tijekom postupka prskanja.
Ultrazvučna tehnologija generatora integrirana u sistem za prskanje ultrazvucno električni energiju za atomizaciju pruža se napredno uravnotežena funkcija opterećenja, koja se može automatski prilagoditi za prilagođavanje različitim vakuumskim uvjetima, čime se održava najstabibilnije karakteristike prskanja tijekom procesa vakuumskog ublažavanja.
Ultrazvučni sistem prskanja atomizacije pogodan je za visokotemperatuma vakuum okruženja i ima hlađenje kapaciteta i funkciju nadzora temperature kako bi se osigurala odgovarajuća toplotna zaštita.
Prednosti primjene vakuumske komore:
- Elektronski uređaji dizajnirani za balansiranje opterećenja
- Visoka zaštita i nadzor temperature
- Jedinstveni uslovi vakuuma Dizajn ograničenja protoka tečnosti
- Atomizacija se generira u nedostatku zraka / plina, održavajući integritet vakuuma
